Введение
Алгоритм численного решения трехмерных уравнений Навье- Стокса для несжимаемой жидкости в естественных переменных 26
1.1 Система уравнений 26
1.2 Расщепление по физическим процессам 28
1.3 Численный метод решения уравнений Навье-Стокса для несжимаемой жидкости 29
1.4 Анализ различных способов решения уравнения для давления 34
1.5 Тестовые расчеты 38
1.6 Основные результаты 47
Конвективная устойчивость 48
2.1 Основные предположения 48
2.2 Математическая модель 50
2.3 Метод решения задачи концентрационной конвекции . 52
2.4 Модельная задача 54
2.5 Некоторые дополнительные теоретические и экспериментальные данные 60
2.6 Численное исследование возникновения подкритической конвекции 61
2.7 Зависимость структуры течения от величины зазора . 64
2.8 Влияние конвекции на форму поверхности эпитакси-ального слоя 68
2.9 Сравнение с результатами двумерных расчетов 69
2.10 Анализ влияния параметров сетки на результаты расчетов 71
2.11 Основные результаты 72
Математическое моделирование технологических режимов выращивания ЭС с предварительным подрастворением подложки 74
3.1 Описание процесса 74
3.2 Результаты расчетов 77
3.3 Учет конечной теплопроводности стенок ростовой камеры и жидкости 91
3.4 Основные результаты 95
Выводы
