Численное моделирование формирования изображения в проекционной фотолитографии
Рыжикова Юлия Владимировна. Численное моделирование формирования изображения в проекционной фотолитографии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.03 / Рыжикова Юлия Владимировна; [Место защиты: Моск. гос. ун-т им. М.В. Ломоносова].- Москва, 2008.- 135 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-1/606