Введение
Глава 1. Элементы и характеристики газочувствительных интегральных датчиков и микросистем 16
1.1. Микроэлектронные средства измерения концентраций газов 17
1.1.1. Структурно- функциональные схемы газоаналитических микросистем и приборов 18
1.1.2. Конструктивно-технологические решения создания измерительных устройств и систем в интегральном исполнении 23
1.1.3. Интегральные датчики и их структура 25
1.2. Чувствительные и актюаторные элементы интегральных датчиков концентраций газов 28
1.2.1 .Чувствительные элементы резисторного и резисторно-ёмкостного типа
1.2.2. Каталитические и электрохимические чувствительные элементы... 35
1.2.3. Массочувствительные чувствительные элементы 37
1.2.4. Чувствительные элементы на основе диодов Шотки 40
1.2.5. Чувствительные элементы на основе МДП-структур 41
1.2.6. Оптические и оптоволоконные чувствительные элементы 44
1.2.7. Нагревательные актюаторные элементы 45
1.3. Характеристики газочувствительных интегральных датчиков 47
1.3.1. Метрологические характеристики датчиков 47
1.3.2. Эксплуатационные характеристики и особенности газочувствительных интегральных датчиков 49
1.3.3. Пути и проблемы создания интегральных датчиков концентрации га зов 51
1.4. Выводы 56
Глава 2. МДП-транзисторные чувствительные элементы интегральных датчиков водорода и их характеристики
2.1. МДП-транзистор как чувствительный элемент датчиков.. 59
2.2. Характеристики газочувствительных МДПТЧЭ
2.2.1. Метрологические характеристики газочувствительных МДПТЧЭ.
2.2.2. Конструктивно-технологические характеристики МДПТЧЭ газочувствительных интегральных датчиков
2.3. Характеристики МДП-транзисторных чувствительных элементов интегральных датчиков водорода серий ИДВ
2.3.1. Интегральные датчики водорода серии ИДВ-1
2.3.2. Интегральные датчики водорода серии ИДВ-2
2.3.3. Интегральные датчики водорода серии ИДВ-3
2.4. Выводы
Глава 3. Методика, средства и результаты экспериментальных исследований характеристик мдп-транзисторных чувствительных элементов
3.1. Общая методика экспериментальных исследований характеристик ИДВ.
3.2. Измерительный комплекс для исследования характеристик ИДВ...
3.3. Результаты экспериментальных исследований характеристик ТЧЭ ...
3.3.1. Отклики ТЧЭ
3.3.2. Физико-математическая модель откликов ТЧЭ
3.3.3. Основные метрологические и эксплуатационные характеристики..
3.3.4. Оценка вклада различных факторов в полную погрешность измерения концентрации водорода датчиком на основе ТЧЭ
3.3.5. Влияние дрейфа начального значения порогового напряжения...
3.3.6. Влияние температуры кристалла
3.3.7. Влияние электрического режима работы ТЧЭ
3.3.8. Влияние водорода на другие элементы базовой ячейки ИДВ-3...
3.3.9. Влияние световых излучений на характеристики ТЧЭ
3.3.1О.Влияние других газов на характеристики ТЧЭ
3.3.11 .Результаты долговременных испытаний ТЧЭ
3.4. Выводы Г
лава 4. Анализ схем включения мдп-транзисторных чувст вительных элементов в измерительные цепи
4.1. Базовые схемные конфигурации
4.2. Расчёт основных характеристик схем включения ТЧЭ
4.3. Обсуждение результатов анализа характеристик схем
4.4. Выводы.
Глава 5. Методики оптимального выбора схем и электри ческих режимов работы мдп-транзисторных чувстви тельных элементов интегральных датчиков
5.1. Выбор рабочих электрических режимов для схемы № 1
5.2. Выбор рабочих электрических режимов для схем №№ (2 +5) и №8...
5.2.1. Повышение чувствительности датчика
5.2.2. Повышение крутизны переходной характеристики датчика
5.2.3. Линеаризация передаточной характеристики датчика
5.2.4. Уменьшение порога чувствительности датчика
5.2.5. Уменьшение погрешности влияющих величин
5.3. Рекомендации по практическому применению ТЧЭ в интегральных
датчиках и приборах
5.4. Выводы
Заключение
Список литературы
