Деградация микроэлектромеханических структур измерительных тензопреобразователей датчиков давления
Адарчин Сергей Александрович. Деградация микроэлектромеханических структур измерительных тензопреобразователей датчиков давления : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.07.- Калуга, 2003.- 138 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/3158-1