Введение
Глава 1. Современные методы создания наноструктур 10
1.1. Литография 11
1.2. Самосборка 24
1.3. Выводы по главе 1 28
Глава 2. Метод получения InGaAs/GaAs трубок заданной длины 30
2.1. Селективная эпитаксия (краткий обзор литературы) 32
2.2. InGaAs/GaAs трубки заданной длины 41
2.3. Монокристалличность стенок нанотрубок 58
2.4. Выводы по главе 2 64
Глава 3. Получение наноструктур с использованием сверхкритических сред 66
3.1. Сушка микро- и наноструктур (краткий обзор литературы) 66
3.1.1. Разрушение микро- и нанообъектов при сушке испарением 65
3.1.2. Методы профилактики разрушения при сушке 71
3.2. Сушка InGaAs/GaAs микро- и наноструктур испарением 73"
3.3. Сверхкритические среды (краткий обзор литературы) 79
3.3.1. Общие свойства сверхкритических сред 79
3.3.2. Использование сверхкритических сред в микро- и нанотехнологии 93
3.4. Сверхкритическая С02 сушка InGaAs/GaAs микро- и наноструктур 98
3.4.1. Промывание образца в ацетоне 103
3.4.2. Перенос образца в камеру установки и заполнение охлаждаемой камеры жидкой углекислотой 114
3.4.3. Замещение ацетона углекислотой и продувка камеры 116
3.4.3.1. Замещение ацетона жидкой углекислотой 116
3.4.3.2. Замещение ацетона сверхкритической углекислотой . 119
3.4.4. Перевод жидкой углекислоты в сверхкритическое состояние 121
3.4.5. Изотермическое понижение давления до атмосферного 123
3.4.6.Остывание камеры и извлечение высушенного образца 124
3.5. Результаты экспериментов по сверхкритической сушке 125
3.6. Сушка InGaAs/GaAs объектов в сверхкритическом ацетоне . 132
3.7. Травление жертвенного слоя в сверхкритическом травите ле . 135
3.7.1. Предпосылки 135
3.7.2. Эксперименты по сверхкритическому травлению 136
3.8. Выводы по главе 3 145
Глава 4. Использование InGaAs/GaAs нанотрубок в качестве масок для получения структур с точным размером 146
4.1. InGaAs/GaAs трубка как маска 146
4.2. Сухое травление (обзор литературы) 153
4.3. Эксперименты 160
4.4. Выводы по главе 4 164
Основные результаты и выводы по диссертации 165
Заключение 167
Библиографический список использованной литературы 169
