Введение
1 Обзор и анализ методов и средств диагностики датчиков, измерительных систем и изделий 12
1.1. Общие вопросы и задачи функциональной диагностики датчиков и измерительных систем 12
1.2. Объекты диагностики 13
1.3. Контролепригодность чувствительных элементов, измерительных моделей и датчиков физических величин 20
1.4. Обзор и анализ существующих методов и устройств контроля, диагностики и испытания датчиков и их элементов 25
2 Диагностика и контроль механических напряжений, температуры и вибраций в чувствительных элементах и измерительных модулях датчиков 29
2.1. Механические напряжения в сенсорных элементах и структурах датчиков, модели, методы и средства диагностики 29
2.2. Исследование методов и средств контроля механических напряжений в чувствительных элементах и измерительных модулях датчиков статико-динамических давлений 37
2.3 Пьезорезистивные эффекты в активных структурах и их использование для контроля и диагностики чувствительных элементов и измерительных модулей 52
2.4. Емкостный метод диагностики и контроля механических напряжений в чувствительных элементах и измерительных модулях 57
2.5 Методы преобразования и контроля тепловых параметров 59
2.6. Физические эффекты в пьезоэлектрических материалах и структурах и их использование для контроля и диагностики датчиков 69
2.7. Исследование методов и средств измерения вибраций и применение их для контроля и диагностики чувствительных элементов и измерительных модулей 74
2.8. Методы и программы анализа тестовых сигналов и воздействий на чувствительные элементы и измерительные модули пьезоэлектрических датчиков 77
3 Диагностика технологий формирования элементов и структур чувствительных элементов и измерительных модулей датчиков статико-динамических давлений 91
3.1. Контроль и диагностика технологических процессов изготовления элементов и структур датчиков 91
3.2. Контроль и диагностика специальных технологических операций изготовления чувствительных элементов и измерительных модулей ... 95
3.3. Технологии формирования и контроля электроадгезионного соединения полупроводников и изоляторов в микромеханических узлах и измерительных модулях датчиков 110
4 Внедрение технологий, методик и устройств функциональной диагностики чувствительных элементов, измерительных модулей и датчиков статико-динамических давлений 118
4.1. Усовершенствование методов неразрушающего контроля и диагностики чувствительных элементов и измерительных модулей датчиков 118
4.2. Организация технологии контроля и диагностики чувствительных элементов и измерительных модулей 125
4.3. Особенности диагностики полупроводниковых чувствительных элементов и измерительных модулей многофункциональных датчиков 135
4.4. Разработка методов уменьшения объема контроля чувствительных элементов и измерительных модулей 142
4.5. Организация технологии сквозной диагностики системы «чувствительный элемент-измерительный модуль-датчик» 146
4.6 Усовершенствование средств контроля и диагностики датчиков 152
Основные результаты и выводы 156
Перечень сокращений 158
Библиографический список 159
Приложение 172
