Диагностика капельной и ионной компонент лазерного эрозионного факела при напылении тонких пленок

Хайдуков Евгений Валерьевич. Диагностика капельной и ионной компонент лазерного эрозионного факела при напылении тонких пленок : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.03 / Хайдуков Евгений Валерьевич; [Место защиты: Ин-т проблем лазер. и информ. технологии РАН].- Шатура, 2010.- 160 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-1/1069