Введение
Глава 1. Особенности отражения рентгеновского излучения от шероховатой поверхности (Литературный обзор) 12
1.1. Отражение излучения от идеальных границ раздела 12
1.2. Диффузное рассеяние излучения на шероховатостях 22
Глава 2. Подходы к решению обратной задачи рентгеновской ре флектометрии 35
2.1. К проблеме неоднозначности решения обратной задачи 35
2.2. Модельный подход 39
2.3. Подход на основе максимизации энтропии 47
2.4. Асимптотическое продолжение коэффициента отражения 50
2.5. Сравнение эффективности различных подходов на модельных структурах 55
2.6. Итерационный самосогласованный подход 64
2.7. Заключение 67
Глава 3. Методика проведения экспериментов и обработки экспериментальных данных 69
3.1. Описание экспериментальных установок 69
3.2. Измерения диффузного рентгеновского рассеяния 77
3.3. Рентгеновские рефлектометрические измерения 86
3.4. Заключение 97
Глава 4. Исследование структуры эпитаксиальных плёнок оксида гафния 99
4.1. Анализ шероховатости поверхности плёнок 100
4.2. Анализ внутренней структуры плёнок методом рефлектометрии 104
4.3. Заключение 117
Глава 5. Исследование структуры приповерхностных неоднородных слоев различной природы 119
5.1. Полированные сапфировые подложки 120
5.2. Липидные плёнки на кремнезоле 130
5.3. Заключение 144
Основные результаты и выводы 146
Благодарности 149
Публикации по материалам диссертации 150
Литература 152
