Введение
Глава 1. Анализ диффузионных процессов 18
1.1. Аналогия процессов диффузионного типа 18
1.2. Постановка задачи 20
1.3. Динамика диффузионных процессов 22
1.4. Критерий времени установления стационарного распределения и глубины проникновения примеси 35
1.5. Результаты и выводы 54
Глава 2. Времена установления концентрации примеси в неоднородной структуре с переменным во времени коэффициентом диффузии 55
2.1. Времена установления концентрации примеси в неоднородной структуре с постоянным во времени коэффициентом диффузии 55
2.1.1. Представление времён установления с помощью рядов Фурье Случай слабо неоднородной структуры 55
2.1.2. Вычисление времён установления с помощью преобразования Лапласа. Случай слабо неоднородной структуры 56
2.1.3. Примеры расчёта поправок к временам установления 61
2.1.4. Спектральный метод расчёта времени установления 63
2.1.5. Оптимизация пространственной структуры коэффициента диффузии 68
2.1.6. Времена установления концентрации примеси без ограничений на величину изменений коэффициента диффузии в пространстве 74
2.2. Времена установления концентрации примеси в однородной структуре с переменным во времени коэффициентом диффузии 79
2.2.1, Времена установления концентрации примеси в случае слабых изменений коэффициента диффузии во времени 79
2.2.2. Времена установления концентрации примеси без ограничений на величину изменений коэффициента диффузии во времени 91
2.3. Времена установления концентрации примеси в слабо неоднородной структуре с переменным во времени коэффициентом диффузии 92
2.4. Результаты и выводы 107
Глава 3. Практическое применение методики анализа динамики процессов диффузионного типа 109
3.1. Влияние пространственной, временной и концентрационной зависимости структуры коэффициента диффузии на распределение примеси. Оптимизация времени отжига 109
3.1.1. Описание легируемой структуры 110
3.1.2. Случай неоднородного коэффициента диффузии 112
3.1.3. Оптимизация времени отжига 126
3.1.4. Динамика примеси в неоднородной структуре с учётом временной и концентрационной зависимости коэффициента диффузии 141
3.1.5. Сравнение методов легирования 147
3.2. Динамика точечных радиационных дефектов с учётом пространственных и временных изменений коэффициента диффузии 150
3.2.1. Описание модели распространения дефектов 151
3.2.2. Динамика изменений температурного поля 153
3.2.3. Анализ динамики распространения дефектов 155
3.3. Тепловые нагрузки рентгеновских трубок с неподвижным анодом 164
3.3.1. Модель теплопереноса 164
3.3.2. Структура температурного поля 167
3.3.3. Предельно допустимая мощность 172
3.4. Результаты и выводы 176
Заключение 177
Приложение 1 179
Приложение 2 185
Приложение 3 190
Приложение 4 194
Приложение 5 196
Список литературы 198
