Введение .................................................................................................................. 3
Глава 1. Устройства спиновой электроники и их потребности ...................... 12
1.1 Микроструктура и электрические транспортные свойства наноразмерных
маногослойных структур на основе ферромагнитных сплавов CoFeZr и
CoFeВ ..................................................................................................................... 12
1.2 Выводы по литературному обзору и формулировка цели и задач ............ 31
Глава 2. Характеристика объектов исследования и обзор методов анализа . 34
2.1 Методика получения образцов и их технологические характеристики .... 34
2.2 Метод рентгеновской дифракции .................................................................. 39
2.3 Рентгеновская рефлектометрия ..................................................................... 42
2.4 Ультрамягкая рентгеновская эмиссионная спектроскопия
(УМРЭС, USXES) .................................................................................................. 53
2.5 Исследование электротранспортных свойств .............................................. 57
Глава 3. Результаты экспериментальных исследований многослойных
наноструктур на основе CoFeZr .......................................................................... 63
3.1 ML-I [(Co45Fe45Zr10)/a-Si:H]41 ......................................................................... 63
3.2 ML-II [(Co45Fe45Zr10)35(Al2O3)65/a-Si:H]41 ....................................................... 68
3.3 ML-III [(Co45Fe45Zr10)35(Al2O3)65/a-Si]120 ........................................................ 73
3.4 ML-IV [(Co45Fe45Zr10)35(Al2O3)65/a-Si:H]100 .................................................... 81
3.5 Выводы по Главе 3 .......................................................................................... 90
Глава 4. Результаты экспериментальных исследований многослойных
наноструктур на основе CoFeВ .......................................................................... 93
4.1 Серия ML-V-VII [(Co40Fe40B20)34(SiO2)66/(ZnO)/C]m .................................... 93
4.2 Серия ML-VIII-XI [(Co40Fe40B20)34(SiO2)66/(In2O3)/C]m .............................. 104
4.3 Выводы по главе 4 ......................................................................................... 116
Заключение и выводы из работы .................................................................. 119
Благодарности .................................................................................................... 121
Список используемых сокращений и условных обозначений ................. 122
Литература.......................................................................................................... 123
