Введение
Глава 1 . Синтез силицидов Ті и Мо. Основные методы и закономерности формирования силицидных пленок, их субструктура и ориентация. Состояние проблемы 10
1.1. Методы формирования и исследования пленок силицидов титана и молибдена 10
1.2. Начальные стадии формирования силицидов ТІ и Мо 11
1.3. Последовательность фаз образующихся при синтезе силицидов в гетеросистемах Ti-Si и Mo-Si 14
1.4. Полиморфные превращения в пленках дисилицидов Ті и Мо 22
1.5. Быстрый термический и импульсный фотонный отжиг 30
1.6. Закономерности ориентированного роста силицидов на Si 33
1.7. Заключение и постановка задачи 42
Глава 2. Материалы, способы получения пленочных гетероструктур Si-силицид металла, методы исследования и методики подготовки образцов для исследований 44
2.1. Материалы и подготовка исходных структур 44
2.2. Получение пленок Ті и Мо на кремнии и синтез силицидов при вакуумной конденсации на подогреваемые подложки Si 45
2.3. Синтез пленок силицидов металлов методом импульсной фотонной обработки 47
2.4. Методика подготовки образцов для электронно-мйкроскопических исследований 48
2.5. Анализ фазового и элементного состава, субструктуры и ориентации пленок силицидов 50
2.6. Измерения электрических параметров 52
Глава 3. Ориентация и субструктура пленок TiSi2, синтезированных при конденсации металла на поверхность монокристаллического кремния в сверхвысоком вакууме 53
3.1. Пленки TiSi2(C49) 53
3.2. Пленки TiSi2(C54) 55
3.3. Закономерности сопряжения ТіБіг на Si 59
3.4. Выводы к главе 3 67
Глава 4. Фазовые, ориентационные и субструктурные превращения при фотонной обработке пленок Ті на Si 68
4.1. ИФО пленок Ті на (11l)Si 68
4.2. Система a-Si-Ті 78
4.3. Удельное сопротивление пленок системы Si - Ті 82
4.4. Выводы к главе 4 83
Глава 5. Фазовый состав, субструктура, ориентация и удельное сопротивление пленок силицидов, образующихся при конденсации Мо на Si и при ИФО пленок Мо на Si 84
5.1. Образование, силицидов Мо при вакуумной конденсации металла на монокристаллический кремний ориентации (111) и (001) 84
5.2. Фазовые, ориентационные и субструктурные превращения при фотонной обработке пленок Мо на Si 90
5.3. ИФО пленок Мо на a-Si 93
5.4. Удельное сопротивление пленок системы Si - Мо 95
5.5. Выводы к главе 5 96
Основные выводы 97
Список используемой литературы
