Введение
Глава 1. Синтез тонкопленочных силицидов
1.1. Способы синтеза тонкопленочных силицидов 9
1.2. Особенности синтеза силицидов тугоплавких металлов 14
1.3. Фазообразование и кинетика роста силицидов 15
1.4. Образование фаз в системе Ir-Si и кристаллическая структура силицидов иридия 18
1.5. Образование фаз в системе Re-Si и кристаллическая структура силицидов рения 29
1.6. Ориентированный рост пленок силицидов тугоплавких металлов.
1.6.1. Эпитаксиальный рост силицидов иридия на ориентированных подложках крения 40
1.6.2. Эпитаксиальный рост силицидов рения на ориентированных подложках кремния 42
1.7. Заключение к главе 1 46
Глава 2. Материалы и методы исследований
2.1. Исходные материалы. Методика нанесения пленок металлов 47
2.2. Методы синтеза пленок силицидов 48
2.3. Методика подготовки образцов для исследований методом ПЭМ .49
2.4. Методика исследования структуры, ориентации и субструктуры образцов 50
Глава 3. Фазовый состав, структура, ориентация и субструктура пленок силицидов иридия
3.1. Синтез в процессе вакуумной конденсации металла на кремний
3.1.1. Зависимость фазового состава, ориентации и субструктуры пленок от температуры подложки 52
3.1.2. Закономерности сопряжения на МГ кремний - силицид иридия.58
3.2. Синтез силицидов иридия при импульсной фотонной обработке пленок металла на кремнии
3.2.1. Зависимость фазового состава и субструктуры пленок от энергии, поступающего на образец излучения 64
3.2.2. Эффект ИФО в сравнении с термическим отжигом 74
3.3. Выводы к главе 3 75
Глава 4. Фазовый состав, структура, ориентация и субструктура пленок силицидов рения
4.1. Зависимость фазового состава от температуры подложки 77
4.2. Закономерности сопряжения HaMTSi -ReSi2 79
4.3. Выводы к главе 4 86
Основные выводы 87
Литература 89
