Введение
ГЛАВА 1. Применение, свойства и технология осаждения пленок диоксида и оксинитрида титана 11
1.1. Область применения пленок диоксида титана TiO2 .11
1.2. Область применения пленок оксинитрида титана TiO2(1-х)Nx 12
1.3. Способы нанесения тонких пленок диоксида и оксинитрида титана 13
1.4. Реактивное ионно-плазменное распыление 14
1.5. Адсорбция реактивного газа на поверхности твердых тел 18
1.6. Отравление катода магнетрона при реактивном магнетронном распылении 18
1.7. Особенности метода импульсного РМР 21
1.8. Ионная бомбардировка растущих пленок при импульсном распылении 27
1.9.Процесс формирования наноструктурных покрытий, изготовленных реактивным магнетронным напылением при подаче отрицательного напряжения смещения на подложку 28
1.10.Исследования физико-механических характеристик нанокристаллических покрытий 30
1.11. Методы исследования состава и кристаллической структуры пленок диоксида титана TiO2 и оксинитрида титана TiO2(1-х)Nx 33
Выводы к главе 1 37
ГЛАВА 2. Методы исследования, использованные в настоящей диссертации 39
2.1.Приготовление образцов 39
2.2. Метод спектроскопии комбинационного рассеяния 42
2.3.Вторично-ионная масс-спектрометрия (ВИМС) 48
2.4. Метод ренгенофазового анализа 52
2.5. Оже-электронная спектроскопия 52
2.6.Растровый электронный микроскоп 55
2.7.Методы исследования механических характеристик 55
2.7.1.Высокотемпературный трибометр (PC-Operated High Temperature Tribometer THT-S-AX0000). .55
2.7.2. Нанотвердомер (Nano Hardness Tester NHT-S-AX-000X) 56
2.7.3.Трехмерный бесконтактный профилометр (Micro Measure 3D Station) 57
Выводы к главе 2 58
ГЛАВА 3. Исследование механических свойств пленок TiO2 и Ti-O-N .59
3.1.Приготовление образцов 59
3.2. Определение микротвёрдости TiO2 и Ti-O-N покрытий 61
3.3. Триботехнические характеристики оксинитридных покрытий 66
Выводы к главе 3 71
ГЛАВА 4. Исследование структуры и элементного состава пленок на основе TIO2 и TI-O-N, полученных методом реактивного магнетронного распыления 73
4.1. Результаты исследования элементного состава покрытий диоксида титана, полученных реактивным магнетронным распылением 74
4.2. Результаты исследования элементного состава покрытий Ti-O-N, полученных методом реактивного магнетронного распыления 77
4.3.Результаты исследования структурного состава покрытий TiO2, полученных методом реактивного магнетронного распыления. 80
4.4.Исследование фазового состава оксинитридных покрытий Ti-O-N,
полученных методом реактивного магнетронное распыления. 90
Выводы к главе 4 94
Заключение .95
Список использованных источников 97
