Введение
Глава 1. Обзор литературы 12
1.1. Физические основы методов электронной спектроскопии 12
1.1.1. Традиционные методы электронной спектроскопии 13
1.1.2. Спектроскопия сечения неупругого рассеяния электронов 22
1.1.3. Количественный анализ элементного состава в спектроскопии сечения неупругого рассеяния электронов 33
1.2. Электронная спектроскопия структур металл-полупроводник 34
1.2.1. Электронная спектроскопия кремния 34
1.2.2. Электронная спектроскопия системы MnxSi1-x/Si 37
1.2.3. Электронная спектроскопия системы Fe-Si 39
1.3. Выводы к главе 1 45
Глава 2. Условия получения образцов и методы их исследования 47
2.1. Условия получения образцов 47
2.2. Анализ энергии в электронной спектроскопии 48
2.3. Фотоэлектронный спектрометр UNI-SPECS 51
2.4. Программный пакет для расчета спектров сечения неупругого рассеяния электронов QUASESTM XS REELS 54
2.5. Анализ тонкой структуры спектров сечения неупругого рассеяния электронов 56
2.6. Определение энергий неразрешенных пиков потерь 60
2.7. Выводы к главе 2 64
Глава 3. Сравнительный анализ спектров характеристических потерь энергии электронов и спектров сечения неупругого рассеяния 66
3.1. Элементарные кремний, железо, марганец 66
3.2. Силициды железа 74
3.4. Выводы к главе 3 85
Глава 4. Тонкая структура спектров сечения неупругого рассеяния электронов Si, Fe, Mn 86
4.1. Разложение K-спектров Si, Fe, Mn на элементарные составляющие 86
4.2. Расчет параметра поверхностных возбуждений Si 94
4.3. Выводы к главе 4 97
Глава 5. Тонкая структура спектров сечения неупругого рассеяния электронов силицидов железа 99
5.1. Разложение K-спектров FeSi2, FeSi, Fe5Si3 на элементарные составляющие 99
5.2. Выводы к главе 5 105
Заключение 107
Список литературы 113
