Введение
ГЛАВА 1 Методы глубокого локального легирования кремния 19
1.1 Анализ возможностей методов глубокого легирования р-областей СПП
1.1.1 Локальное глубокое легирование в структурах СПП
1.1.2 Сравнительный анализ возможностей создания р-слоев в структурах СПП
1.1.3 Создание разделительных р-каналов в структурах СПП
1.2 Метод ТМ и степень его разработанности для использования в промышленной технологии СПП
1.2.1 Выявление технологических факторов, сопровождающих термомиграцию расплава
1.2.2 Выбор металла для локального легирования кремния акцепторной примесью методом ТМ
1.2.3 Методики получения плоских кремниевых р-слоев
1.2.4 Варианты реализации метода ТМ для создания разделительных р-каналов
1.2.5 Методики обеспечения планарности тыльной поверхности кремниевой пластины после термомиграции
1.2.6 Термическое оборудование для термомиграции жидких зон в кремнии
1.3 Опыт промышленного освоения метода ТМ и постановка задач
исследования Выводы
ГЛАВА 2 Разработка методик формирования жидких зон
2.1 Общие замечания
2.2 Выявление требований к используемым материалам 91
2.3 Причины невоспроизводимого формирования плоских жидких зон 103
2.4 Выявление технологических ограничений процесса формирования дискретных зон избирательным смачиванием 116
2.5 Разработка методик формирования плоских зон
2.5.1 Использование добавок в расплав алюминия 126
2.5.2 Использование пористого кремния 130
2.5.3 Использование микропрофилирования поверхности кремния 137
2.6 Обоснование применения методик формирования жидких зон и
технологические схемы их реализации 145
Выводы 151
ГЛАВА 3 Кинетика и стабильность миграции жидких зон 153
3.1 Общие замечания 153
3.2 Исследование кинетики и стабильности миграции расплава Al-Si с добавками третьего компонента 154
3.3 Особенности кинетики и стабильности миграции плоских зон в условиях макровозмущений межфазных границ 163
3.4 Исследование стадии выхода жидкой зоны расплава на тыльную поверхность пластины 170
3.5 Технологическая схема процесса создания р-областей для СПП 174 методом ТМ
Выводы 177
ГЛАВА 4 Термическое оборудование для термомиграции 179
4.1 Общие замечания 179
4.2 Оборудование для формирования плоских жидких зон 180
4.3 Оборудование для формирования дискретных жидких зон 185 4.3 Оборудование для проведения процессов термомиграции зон 194 Выводы 213 ГЛАВА 5 СВОЙСТВА ПЕРЕКРИСТАЛЛИЗОВАННЫХ СЛОЕВ,
ОБЛАСТЕЙ, СТРУКТУР И ПРИБОРОВ НА ИХ ОСНОВЕ 214
5.1. Общие замечания 214
5.2 Кристаллическое совершенство перекристаллизованного кремния 215
5.3 Электрофизические характеристики перекристаллизованных р- областей 223
5.4. Электрические свойства структур и СПП на их основе 235
5.4.1. Кремниевые СПП, содержащие перекристаллизованных р-слои 235
5.4.2. Кремниевые СПП, содержащие р-каналы 245
