Физико-технологические основы травления арсенида галлия в низкотемпературной химически активной плазме магнетронного разряда при производстве изделий электронной техники
Беневоленский, Сергей Борисович. Физико-технологические основы травления арсенида галлия в низкотемпературной химически активной плазме магнетронного разряда при производстве изделий электронной техники : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 / Рос. гос. технологич. ун-т им. К. Э. Циолковского.- Москва, 2000.- 37 с.: ил. РГБ ОД, 9 00-2/2118-8
