Формирование диэлектрических слоев интегральных схем методами химического осаждения
Воротилов, Константин Анатольевич. Формирование диэлектрических слоев интегральных схем методами химического осаждения : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01.- Москва, 2000.- 388 с.: ил. РГБ ОД, 71 01-5/193-7