Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления
Старостина Елена Алексеевна. Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01.- Черноголовка, 2001.- 111 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-1/536-9
