Введение
ГЛАВА 1. Аналитический обзор 10
1.1. Методы получения планарных мультислойных покрытий 10
1.2. Циклодекстрины и пленки Ленгмюра-Блоджетт на их основе 18
1.3. Полиэлектролитные пленки, свойства и применения 22
1.4. Нанокомпозитные пленки, свойства и применения 30
Выводы 34
ГЛАВА 2. Влияние модификации свойств поверхности монокристаллического кремния на перенос монослоев 3- циклодекстринов и электрофизические свойства структур металл-диэлектрик-полупроводник 35
2.1. Получение пленок Ленгмюра-Блоджетт 35
2.2. Расчет и анализ коэффициента переноса пленок Ленгмюра-Блоджетт 39
2.3. Исследование модификации свойств поверхности кремния на электрофизические свойства МДП-структур 44
Выводы 59
ГЛАВА 3. Влияние режимов сорбции на оптические параметры нанокомпозитной пленки 60
3.1. Описание автоматизированной установки «ПОЛИИОН-1М» 60
3.2. Получение нанокомпозитных пленок 65
3.2. Результаты исследования режимов адсорбции 69
Выводы 76
ГЛАВА 4. Влияния числа слоев наночастиц оксида железа на физические свойства нанокомпозитных пленок на основе полиаллиламиногидрохлорида 77
4.1. Исследование нанокомпозитных пленок методами эллипсометрии и атомно-силовой микроскопии 77
4.2. Исследование нанокомпозитных пленок методом вторичной ионной масс-спектрометрии 84
4.3. Исследование электрофизических свойств нанокомпозитных пленок методом динамических вольт-амперных характеристик 88
4.3. Исследование магнитных свойств нанокомпозитных пленок методом электронного парамагнитного резонанса 93
4.4. Оценка объемной фракции наночастиц оксида железа в нанокомпозитных пленках с использованием модели эффективной диэлектрической среды 96
Выводы 98
Заключение 99
Список использованных источников 101
Приложение Динамические вольт-амперные характеристики МДП-структур с разным числом полиэлектролитных слоев 112
