Введение
Глава I Состояние вопроса 11
1.1. Развитие методов и оборудования для вакуумной ионно- плазменной обработки поверхности конструкционных материалов авиационной техники 15
1.1.1. Вакуумная ионно-плазменная комплексная обработка поверхности 16
1.1.2. Формирование многокомпонентных покрытий 19
1.1.3. Формирование многослойных покрытий 24
1.1.4. Вакуумное ионно-плазменное оборудование 30
1.2. Вакуумные ионно-плазменные технологии 40
1.2.1. Влияние технологических параметров на процесс формирования покрытий 40
1.2.2. Вакуумные ионно-плазменные покрытия различного служебного назначения 45
1.3. Контроль качества покрытий 59
1.4. Заключение по литературному обзору и постановка задачи исследования 61
Глава II Объекты и методы исследования 64
2.1. Объекты исследования 64
2.2. Методы исследования 65
2.2.1. Метод измерения контактной разности потенциалов . 65
2.2.2. Методы рентгеноструктурного анализа 69
2.2.3. Методика измерения остаточных напряжений 72
2.2.4. Методика измерения микротвердости тонких покрытий 72
2.2.5. Рентгеновский метод определения толщины покрытия 75
2.2.6. Химический анализ по глубине состава покрытия и ПОДЛОЖКИ уо
2.2.7. Метод исследования поверхности растровым и туннельным микроскопами о і
Глава III Исследование поверхностных структур конструкционных материалов, формирующихся под воздействием газовой и металлической плазмы
3.1. Разработка метода оценки состояния поверхностного слоя металлов при вакуумной ионно-плазменной обработке 84
3.2. Исследование изменения свойств поверхностного слоя металла после воздействия на него газовой плазмы 92
3.3. Исследование изменения свойств поверхностного слоя металла после воздействия на него металлической плазмы... 99
3.4. Исследование изменения поверхностных свойств барьерных оксидных слоев металла при активирующем нагреве газовой плазмой ПО
3.5. Исследование поверхностных структуры и свойств металлов при конденсации на неё металлической плазмы 113
Глава IV Исследование равномерности распределения газовой и металлической плазмы в рабочем объеме вакуумных установок
4.1. Формирование металлической плазмы электродуговыми серийными испарителями в рабочем объеме установки ННВ-6.6 135
4.1.1. Распределение плазмы в зависимости от схемы размещения испарителей 136
4.1.2. Исследование процесса формирования капельной фазы под влиянием токовых характеристик, сепарации, остаточного давления, материала катода, управления перемещением катодного пятна
4.2. Формирование газовой плазмы в рабочем объеме установки Нга-б-6 155
Глава V Разработка универсальной вакуумной ионно-плазменной установки для поверхностной обработки деталей авиационной техники
5.1. Оптимизация параметров осуществления технологических процессов модифицирования и нанесения покрытий и
разработка принципиальной компоновочной схемы установки для их осуществления
5.2. Универсальная вакуумная ионно-плазменная установка нового поколения для обработки деталей авиационной техники
Выводы по работе 172
Список литературы
