Введение
1. Обзор литературы. 8
1.1. Фазы системы In - S 8
1.2. Структура и свойства CuInS2 17
1.3. Селективные химические транспортные реакции 20
1.4. Комплексные соединения индия 22
1.5. Методы получения тонких пленок 31
2. Методика эксперимента 45
2.1. Методика напыления пленок 45
2.2. Методика рентгенофазовых и микроструктурных исследований 49
2.3. Методика оптических исследований 50
2.4. Методика электрофизических исследований 51
2.5. Методика измерения температурной зависимости внутреннего трения 52
2.6. Методика проведения газотранспортного отжига 54
3. Комплексообразование в системах «ІпХз -вода» и «1пХ3 - вода - (NH2)2CS» 56
3.1. Расчет мольных долей комплексов в растворе 56
3.2. Результаты расчета 58
4. Фазовый состав и микроструктура пленок 70
5. Некоторые физические свойства пиролитических слоев ІпзБд и CuInS2 91
5.1. Оптические свойства пленок 91
5.1.1. Влияние температуры синтеза на оптические свойства пленок I113S4 и CuInS2 92
5.1.2. Влияние соотношения С(ТМ) : С(1п3+) в растворе на оптические свойства пленок I113S4 97
5.2. Электрофизические свойства гетероструктур Si/In3S4 и Si/CuInS2 99
5.2.1. ВАХ гетероструктур Si/ In3S4 100
5.2.2. ВАХ гетероструктур Si/CuInS2 107
6. Регулирование состава пиролитических слоев 110
6.1. Регулирование содержания серы в пленках, полученных на кремнии 111
6.2. Селенйзация пленок методом селективных химических транспортных реакций 120
Выводы 124
