Введение
ГЛАВА 1. Анализ поверхностной геометрии 11
1.1. Амплитудные параметры 12
1.2. Фрактальные параметры 18
7.2.7. Понятие фрактала 19
1.2.2. Расчет фрактальной размерности . 23
1.2.3. Связь фрактальной размерности и физических свойств 27
1.3. Ростовые показатели 28
1.4. Выводы 36
ГЛАВА 2. Геометрические методы расчета фрактальной размерности трехмерных изображений 38
2.1. Получение поверхностей с заданной фракталы юй размерностью 38
2.2. Озерпый алгоритм 41
2.3. Метод подсчета клеток 42
2.4. Дисперсионный метод 43
2.5. Метод структурной функции 44
2.6. Выводы 47
ГЛАВА 3. Эволюция интерфейса во время роста 48
3.1. Расчетная модель 49
3.2. Изменение фрактальной размерности во время роста 52
3.3. Изменение шероховатости поверхности во время роста 56
3.4. Ростовые показатели 62
3.5. Выводы 73
ГЛАВА 4. Структура и геометрия поверхности слоев кремния на сапфире 74
4.1. Особенности гетероэпитаксии кремния на сапфире 74
4.2. Методика эксперимента 76
4.3. Связь температуры осаждения и свойств поверхности 78
4.4.Начальные стадии роста кремния на сапфире 80
4.5. Сравнение кнс структур, полученных различными методами 82
4.6. Выводы 86
ГЛАВА 5. Связь геометрии поверхности с физическими свойствами слоев кремния 87
5.1. Связь фрактальной размерности и свойств поверхности поликристаллического, кремния 87
5.1.1. Методика эксперимента 91
5.1.2. Трибологические свойства поверхности t 97
5.1.3. Упругие свойства поверхности 101
5.2. Влияние обработки поверхности на параметры водородочувствительных диодов шоттки на основе кремния 102
5.2.1. Конструкция и принцип действия 103
5.2.2. Влияние обработки на параметры диодов Шоттки 105
5.3. Выводы 109
Общие выводы 111
Заключение 114
Литература
