Генерация форвакуумным плазменным источником электронов сфокусированных непрерывных пучков для обработки диэлектрических материалов
Бакеев Илья Юрьевич. Генерация форвакуумным плазменным источником электронов сфокусированных непрерывных пучков для обработки диэлектрических материалов: диссертация ... кандидата Технических наук: 01.04.04 / Бакеев Илья Юрьевич;[Место защиты: ФГБОУ ВО «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники»], 2019.- 130 с.
