Введение
1. Литературный обзор 16
1.1. Классификация УФ излучения 16
1.2. Области применения УФ-излучения. 17
1.3. Исследования разряда низкого давления с парами ртути
1.3.1. Разработка источников УФ излучения на основе ртутного разряда низкого давления 19
1.3.2. Математическое моделирование процессов в плазме ртутного разряда низкого давления 1.4. Генерация УФ излучения ртутным разрядом низкого давления 25
1.5. Параметры, определяющие эффективность генерации резонансного излучения плазмой ртутного разряда 27
1.6. Поддержание оптимального давления паров ртути при высоких удельных мощностях разряда 36
1.7. Ресурс источников УФ излучения 37
1.8. Заключение к обзору литературы 41
2. Модель разряда 43
2.1. Основные уравнения модели 43
2.2. Заключение к главе 2 54
3. Экспериментальная установка и методики измерений 55
3.1. Объекты исследования 55
3.2. Методики измерения потока УФ излучения 59
3.3. Методики измерения электрических и излучательных характеристик трубчатых ламп трансформаторного типа 61
3.4. Методика измерения потока излучения и электрических характеристик линейных озоногенерирующих ламп 64
3.5. Методика измерения падения мощности в приэлектродных слоях 73
3.6. Методика исследования эффективности защитных покрытий 74
3.7. Заключение к главе 3 75
4. Результаты экспериментов и их обсуждение 77
4.1. Характеристики индукционного разряда 77
4.1.1. Зависимости электрических и излучательных характеристик индукционного разряда от давления и состава буферной смеси 77
4.1.2. Сравнение характеристик индукционного и дугового электродного разрядов 81
4.2. Характеристики дугового разряда в линейной электродной лампе 84
4.2.1. Зависимости падения мощности в приэлектродных слоях 84
4.2.2. Зависимости КПД и потока ВУФ излучения 185 нм от давления и состава буферной смеси неон-аргон 86
4.2.3. Зависимости КПД и потока ВУФ излучения 185 нм от плотности разрядного тока 94
4.2.4. Влияние малых добавок криптона к буферной смеси неон-аргон на генерацию УФ излучения
4.3. Сравнение экспериментальных данных с модельным расчетом 105
4.4. Увеличение срока службы ламп
4.4.1. Ресурс электродного узла лампы 111
4.4.2. Перспективные защитные покрытия 118
4.5. Заключение к главе 4 123
Заключение 126
Список литературы 129
