Введение ........................................................................................................................... 4
Получение однородной плазмы в больших вакуумных объёмах ........ 12
Выводы к главе 1 ....................................................................................................... 37
Генерация пучково-плазменных образований в сильноточном тлеющем
разряде с полым катодом в осесимметричной системе с использованием двух
инжекторов электронов ................................................................................................ 39
2.1 Методика и техника эксперимента .................................................................... 39
2.1.1 Описание экспериментальной установки ............................................... 39
2.1.2 Характеристики ППО в сильноточном тлеющем разряде .................... 43
2.1.3 Методика и оборудование для проведения зондовых измерений ....... 48
2.1.4 Результаты зондовых измерений............................................................. 50
2.2 Параметры пучково-плазменных образований в полом катоде с двумя
инжекторами электронов .......................................................................................... 55
Выводы к главе 2 ....................................................................................................... 64
Сильноточный несамостоятельный тлеющий разряд с полым катодом с
инжекцией электронов из протяженного цилиндрического эмиттера .................... 66
3.1 Описание экспериментальной установки.......................................................... 66
3.2 Характеристики разряда в импульсном режиме горения ................................ 70
Выводы к главе 3 ....................................................................................................... 84
Генератор объёмно-однородных пучково-плазменных образований на
основе несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом и его
использование для азотирования сталей .................................................................... 86
4.1 Параметры и устройство генератора ................................................................. 86
4.2 Закономерности азотирования штамповой стали 4Х5МФС ........................... 88
4.3 Азотирование изделий из штамповых сталей ................................................... 94
4.4 Азотирование трубчатых изделий из нержавеющей стали ............................. 96
4.4.1 Методы и техника эксперимента............................................................. 96
4.4.2 Результаты азотирования тонкостенных труб ....................................... 97
Выводы к главе 4 ..................................................................................................... 101
Заключение .................................................................................................................. 103
Список литературы ..................................................................................................... 107
Приложение А ............................................................................................................. 117 Значения концентрации плазмы N, см–3................................................................ 117
Приложение Б .............................................................................................................. 120
Акты внедрения ........................................................................................................... 120
Приложение В .............................................................................................................. 123
Описание изобретения к патенту ...............................................................................123
