Гнездовая откачка электровакуумных приборов с ионно-плазменной очисткой и герметизацией диффузионной сваркой
Лемякин Андрей Алексеевич. Гнездовая откачка электровакуумных приборов с ионно-плазменной очисткой и герметизацией диффузионной сваркой : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02 / Лемякин Андрей Алексеевич; [Место защиты: Сарат. гос. техн. ун-т].- Саратов, 2009.- 148 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/1231
