Химическое осаждение из газовой фазы, структура и свойства тонких пленок ZnO, ZnO(Ga2O3) и ZnO(CoO)
Бурова, Лидия Игоревна. Химическое осаждение из газовой фазы, структура и свойства тонких пленок ZnO, ZnO(Ga2O3) и ZnO(CoO) : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.21 / Бурова Лидия Игоревна; [Место защиты: Моск. гос. ун-т им. М.В. Ломоносова].- Москва, 2011.- 120 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-2/27
