Холоэллипсометрия in situ слоистых структур: основы, методы и средства
Кирьянов Анатолий Павлович. Холоэллипсометрия in situ слоистых структур: основы, методы и средства : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.01 / Кирьянов Анатолий Павлович; [Место защиты: Рос. акад. наук].- Москва, 2007.- 250 с.: ил. РГБ ОД, 71 07-1/309