Введение
1. Обзор состояния инерциальных измерительных систем параметров движения объектов 10
1.1. Область применения современных бесплатформенных систем ориентации и навигации 10
1.1.1. Комплекс радиолокационной разведки наземных целей для воздушного носителя. 10
1.1.2. Устройства для измерения вертикальной качки 16
1.1.3. Управление и наведение ракет реактивных систем залпового огня 17
1.2. Бесплатформенные системы ориентации 21
1.2.1. Бесплатформенная инерциальная навигационная система БИНС-СП-1. 21
1.2.2. Малогабаритный инерциальный измерительный модуль Crista IMU. 25
1.3. Микрогироскопы 26
1.3.1. Гироскопы компании Analog Devices. 27
1.3.2. Гироскопы Robert Bosch. 29
1.3.3. Гироскопы BEI Systron Dormer. 30
1.3.4. Гироскоп SARI0 компании Infineon 31
1.3.5. Гироскопы Silicon Sensing Systems 32
1.3.6. Гироскоп MLX90609 Melexis 33
1.3.7. Гироскоп Epson. 33
1.3.8. Гироскоп ЦНИИ "Электроприбор". 34
1.3.9. Микрогироскоп ЗАО "ГИРООПТИКА". 34
1.4. Микроакселерометры 36
1.4.1. Акселерометры Analog Devices. З 6
1.4.2. Микроакселерометры Freescale Semiconductor (Motorola). Ъ1
1.4.3. Микроакселерометры MEMSIC. З 8
1.4.4. Микроакселерометры ST Microelectronics. 39
1.4.5. Микроакселерометры Honeywell. 39
1.4.6. Микроакселерометры серии "А" ФНПЦ РПКБ. 40
1.4.7. Акселерометры ФГУП "НИИ Физических измерений". 40
1.4.8. Микроакселерометры ОАО АНПП "ТЕМП-АВИА". 42
1.5. Выводы. 45
2. Повышение точности информационно- измерительной системы на базе микрогироскопов и микроакселерометров 46
2.1. Структура БИНС и БСО на микромеханических гироскопах и акселерометрах 46
2.2. Постановка задачи исследования 48
2.3. Алгоритм калибровки БСО на основе фильтра Калмана 55
2.4. Оценка влияния конструктивных погрешностей на общую погрешность БИНС и БСО 61
2.5. Выводы 67
3. Шумы в микромеханических датчиках 69
3.1. Постановка задачи исследования 69
3.2. Исследование шума механической части на примере МГ RR-типа 72
3.3. Собственные шумы операционных усилителей. 78
3.4. Шумовая модель инвертирующего ОУ 84
3.5. Анализ шумов электронной части микромеханических приборов 89
3.6. Коэффициент передачи электронной части МГ 94
3.7. Анализ влияния выбора элементов электронной схемы на шумы электронной части МГ. 98
3.8. Анализ механического шума на примере МГ LL-типа. 107
3.9. Исследование включения разделительного конденсатора
на уровень шума на выходе электронной части 112
3.10. Исследование шума механической части на примере осевого микроакселерометра 116
3.11. Выводы по главе 119
4. Экспериментальные исследования макета бсо и микромеханических датчиков 121
4.1 Макет БСО 121
4.2 Шум на выходе ИМ 123
4.3 Исследование шумов микромеханических приборов 126
4.4 Компенсация уходов различными фильтрами 130
4.5. Сравнение математических моделей шумов микромеханических датчиков с экспериментальными данными 134
4.6. Выводы 136
Заключение 137
Список литературы
