Введение
ГЛАВА 1. Обзорно-аналитические исследования в области сапр пъезосканеров 9
1.1. Пьезосканеры в приборостроении 9
1.2. Основные понятия и представления о проектировании пьезосканеров ...28
1.3. Обобщенный критерий оценки качества пьезосканеров 40
1.4. Математическое моделирование в автоматизированных системах проектирования 42
1.5. Способы построение баз экспертных данных 48
ГЛАВА 2. Теоретический подход к решению задач создания элементов автоматизированной системы проектирования пьезосканеров 54
2.1. Структура информационной технологии проектирования пьезосканеров на этапах предварительной разработки 54
2.2. Модель многокритериальной задачи принятия решений 64
2.3. Сравнение вариантов на основе порядковой шкалы оценок и на основе интегральной шкалы полезности оценки по показателям 70
2.4. Основы методики выбора предпочтительного варианта пьезосканера по совокупности показателей 84
2.5. Математическая модель пьезосканера на основе пьезоэлектрического элемента 88
2.6. Крип-эффект и методика борьбы с ним 93
ГЛАВА 3. Методы выбора оптимальных по параметрам пъезосканеров 99
3.1. Многоатрибутивный выбор и принятие решения 99
3.2. Оптимизация по параметрам пьезосканеров 102
3.3. Основные методы, с помощью которых происходит выбор наилучших пьезосканеров по параметрам 108
3 4. Оценка надежности систем из многофункциональных модулей 112
ГЛАВА 4. Экспериментальные исследования пьезосканеров на ЭВМ 120
4.1. Выбор основных параметров пьезосканера 120
4.2. Многоатрибутивный выбор пьезосканера 123
4.3. Расчет пьезосканера для нанотехнологии 131
4.4. Выбор оптимального профиля пьезосканера 138
ГЛАВА 5. Синтез алгоритмов поиска технических решений пьезосканеров 147
5.1. Алгоритмы поиска технических решений пьезосканеров 147
5.2. Разнообразие пьезоэлементов 154
5.3. Морфологическая таблица пьезокерамических материалов 160
5.4. Разработка технических решений пьезосканеров 163
Заключение 170
Список литературы 172
Приложения 181
