Введение
Глава I. Стандартные образцы для микроанализа 44
1.1. Образцы сравнения в микроанализе 44
1.2. Возможности ионного легирования для создания стандартных образцов анализа поверхности .22.
1.3. Специфика контроля распределения элементов в субмикронных слоях методом МСВИ CLASS Глава 2. Аппаратура и методика эксперимента 54 CLASS
2.1. Ионное легирование 54
2.1.1. Установка для ионной имплантации .5І
2.1.2. Приготовление образцов 55
2.2. Исследование микрооднородности распределения имплантированной примеси по поверхности образца 5Ї
2.3. Измерение распределения имплантированной примеси по глубине методом МСВИ . 63
2.3.1. Методика измерения и расчета распределения содержания имплантированной примеси 2.3.2. Исследование погрешности определения глубины кратера ионного травления (о&
2.3.3. Построение градуировочной характеристики по одному ионнолегированному образцу
- сравнения . 69
Глава 3. Исследование метрологических характеристик метода мсви при анализе ионнолегированных ОС 77
3.1. Воспроизводимость аналитического сигнала
3.1.1. Исследование статистики аналитического сигнала МСВИ 77
3.1.2. Исследование зависимости воспроизводимости аналитического сигнала МСВИ от содержания определяемого элемента для однороднолегированных образцов
3.2.Исследование воспроизводимости результатов измерения распределения ионноимплантированнюй примеси
3.3. Способ повышения воспроизводимости результатов определения азота, имплантированного в различные основы 96
3.4. Нижние границы определяемых содержаний 99
3.5. Правильность lOtf
Глава 4. Создание стандартного образца для массспектрометрии вторичных ионов
4.1. Специфика СО, приготовленных методом ионной имплантации
4.2. Разработка отраслевого стандартного образца (ОСО) состава поверхностных слоев кремния на распределение содержания бора
4.2.1. Составление технического задания на разработку ОСО
4.2.2. Исследования ОСО и его аттестация .
Глава 5. Применение ионнолегированных образцов для исследований распределения примесей в субмикронных слоях твердых тел . 1
5.1. Исследование влияния термообработки на состав поверхностных слоев кремния, легированных бором
5.2. Исследование распределения азота в поверхност ных слоях ниобия /5У
5.3. Исследование влияния термического отжига на перераспределение фосфора, имплантированного в кремний 454
Заключение 459
Основные результаты и выводы 4bz
Литература
