Введение
Глава I. Методы изучения топографии и характеристик излучения полупроводниковых лазеров (литературный обзор) 11
1.1. Общие характеристики полупроводниковых лазеров на гетероструктурах 11
1.2. Исследование морфологии гетероструктур 14
1.3. Исследование характеристик излучения полупроводниковых лазеров 28
Глава II. Методы и объект исследования 36
2.1. Атомно-силовая микроскопия 36
2.2. Ближнепольная сканирующая оптическая микроскопия 49
2.3. Двухчастотный лазер 70
2.4. Метод жидкостного селективного химического травления 77
Глава III. Исследование полупроводникового лазера 82
3.1. Экспериментальная установка 82
3.2. Ближнепольные зонды 88
3.3. Изучение ближнепольного излучения полупроводникового лазера... 91
3.4. Геометрия излучающей области двухчастотного полупроводникового лазерного диода 95
Глава IV. Результаты исследования пространственной структуры излучения двухчастотного лазера 102
4.1. Сопоставление топографии излучающей поверхности полупроводникового лазера и его излучения в ближнем поле 102
4.2. Спектрально разрешенное исследование пространственной структуры излучения в ближнем поле 105
4.3. Модальная структура излучения лазерных диодов 111
Заключение 117
Литература 119
