Введение
ГЛАВА 1. Методы получения наноструктур на поверхности твердых тел с использованием лазерного излучения 12
1.1. Получение наноструктур с помощью лазерной литографии 13
1.1.1 Оптическая проекционная литография 13
1.1.2 Лазерная сканирующая ближнепольная литография 15
1.2. Наноструктурирование с использованием массива нано- и микросфер
1.2.1 Наносферная литография 23
1.2.2 Литография массива микролинз
1.3. Наноструктурирование при наложении двух и более лазерных пучков (лазерная интерференционная литография) 27
1.4. Прямое лазерное наноструктурирование фемтосекундным лазерным излучением 31
1.5. Прямое лазерное наноструктурирование наносекундным лазерным излучением 35
ГЛАВА 2. Образование наноструктур на поверхности твердого тела, оплавленного наносекундным лазерным импульсом 40
2.1. Выбор модели образования наноструктур при воздействии лазерного излучения на поверхность твердого тела 40
2.2. Оплавление поверхности твердого тела наносекундным лазерным излучением 41
2.3. Кристаллизация оплавленного слоя поверхности твердого тела 47
2.4. Расчет характерных параметров наноструктур на поверхности исследуемых материалов 2.4.1. Титан 54
2.4.2. Германий 57
2.4.3. Нержавеющая сталь з
ГЛАВА 3. Образование микронных и субмикронных структур при релаксации температурных напряжений 65
3.1. Образование микронных и субмикронных структур на поверхности твердых тел при релаксации температурных напряжений, созданныхлазерным нагревом 65
3.1.1 Процесс деформирования твердого тела и релаксация температурных напряжений в условиях воздействия лазерного излучения 65
3.1.2 Поведение деформируемого твердого тела в условиях релаксации температурных напряжений 68
3.1.3 Пространственный период поверхностных структур 70
3.2. Расчет характерных параметров микронных и субмикронных структур на поверхности исследуемого материала (диоксида циркония) 73
ГЛАВА 4. Экспериментальное исследование поверхности материалов, облученных наносекундными импульсами ARF-лазера 80
4.1. Метод прямого лазерного наноструктурирования 80
4.2. Описание экспериментальной установки 82
4.3. Облучение поверхности материалов лазерными импульсами наносекундной длительности 88
4.3.1 Облучение титана наносекундным ArF-лазером 91
4.3.2 Облучение германия наносекундным ArF-лазером 95
4.3.3 Облучение нержавеющей стали наносекундным ArF-лазером 101
4.3.4 Облучение диоксида циркония наносекундным ArF-лазером 104
Заключение 112
Литература
