Введение
I Экспериментальные установки и метод измерения 18
1 Каналы вывода СИ 19
2 Установка для изучения фотодесорбционных процессов в вакуумных камерах, покрытых НЭГ TiZrV 20
2.1. Вакуумные камеры 24
3 Измерительные приборы 25
4. Метод измерения 28
4.1 Коэффициент фотодесорбции в вакуумной камере с сосредоточенной откачкой 28
4.2 Коэффициент фотодесорбции в вакуумной камере с распределенной откачкой 31
4.3 Измерение коэффициента прилипания 33
5 Подготовка к измерениям 37
5.1 Чувствительность измерений 37
5.2 Активация покрытия вакуумных камер 39
II Фотодесорбция в вакуумных камерах, покрытых НЭГ TiZrV 41
1. Вакуумная камера, полностью покрытая НЭГ 41
1.1 Коэффициенты фотодесорбции газов для «чистой» поверхности геттера. 41
1.2 Измерение коэффициента прилипания Нг. 42
1.3 Фотодесорбция в вакуумной камере с пассивированным покрытием. 46
2. Вакуумная камера, частично покрытая НЭГ 49
2.1 Измерение коэффициентов прилипания в неоднородной вакуумной камере. 49
2.2 Результаты измерений. 55
2.2.1. Коэффициент прилипания СО. 57
2.2.2. Коэффициент прилипания С02. 57
2.2.3. Коэффициент прилипания Н2. 58
2.3 Явление ненасыщения 61
2.3.1. Однородная вакуумная камера. 62
2.3.2. Динамика давления при длительном облучении 64 неоднородной вакуумной камеры.
3. Динамика давления СО под действием СИ. Фотонно стимулированная диффузия 68
3.1 Коэффициент фотонно-стимулированной диффузии 73
3.2 Равновесная динамическая плотность 74
3.3 Объяснение эффекта ненасыщения в не полностью покрытой НЭГ камере 78
4. Простая нержавеющая вакуумная камера 81
Заключение 84
Приложение.
Библиография 91
