Введение
Глава 1. Формирование атмосферы остаточных газов ЭВП СВЧ сред него и высокого уровня мощности 22
1.1. Основные принципы откачки 22
1.2. Термическое обезгаживание материалов ЭВП 27
1.3. Обезгаживание электродов электронной бомбардировкой 32
1.4. Обезгаживание в среде водорода и других газов 34
1.5. Ионно-плазменная очистка электродов ЭВП 38
1.6. Способы снижения давления остаточных газов отпаянных ЭВП 44
1.7. Современные задачи совершенствования технологии откачки мощных ЭВП СВЧ и приборов среднего уровня мощности 49
1.8. Модель отпаянного прибора как динамической системы формирования атмосферы остаточных газов 50
1.9. Модель прибора и откачного поста как единого целого 55
1.10. Выводы 59
Глава 2. Управление процессом откачки ЭВП 61
2.1. Измерение давлений и встроенный МЭН 61
2.1.1. Перепад давлений между ЭВП и преобразователем откачного поста 61
2.1.2. Перепад давлений по ЭВП и эффективная быстрота откачки 64
2.2. Контроль процесса откачки ЭВП и встроенный МЭН 72
2.2.1. Достаточность обезгаженности ЭВП и его отдельных узлов 72
2.2.2. Выбор и обоснование критериев откачки 81
2.3. Особенности процесса откачки 82
2.3.1. Термическое обезгаживание ЭВП 82
2.3.2. Минимальное время обезгаживания 84
2.4. Выводы
Глава 3. Исследования эффективности процесса откачки на разных этапах технологического процесса 91
3.1. Определение эффективности процесса откачки отпаянного ЭВП 91.
3.1.1. Проверка давления остаточных газов 92
3.1.2. Исследование поверхностного содержания газов с непрерывным нагревом отпаянного ЭВП 95
3.1.3. Исследование поверхностного содержания газов с циклическим нагревом КПУ отпаянного ЭВП 97
3.1.4. Исследование поверхностного содержания газов с нагревом отпаянного ЭВП и циклическим нагревом КПУ 100
3.2. Определение эффективности процесса обезгаживания отпаянного ЭВП при высоковольтной тренировке 104
3.2.1. Газовыделение в процессе предварительной высоковольтной тренировки 105
3.2.2. Газовыделение в процессе динамической высоковольтной тренировки и настройки ЭВП 121
3.2.3. Определение основного вида газа в ЭВП с аномально высоким давлением остаточных газов 124
3.2.4. Практическое определение критического времени обезгаживания 133
3.3. Выводы 146
Глава 4. Технологический процесс откачки и течеисканияЭВП 148
4.1.Методика отработки технологии откачки 148
4.2. Обезгаживание ЭВП 151
4.3. Высоковольтная тренировка ЭВП, откачанных по разным режимам обезгаживания 156
4.4. Особенности процесса откачки 157
4.5. Обзор критериев процесса откачки ЭВП 161
4.6. Результаты использования и внедрения разработанных технологических процессов откачки ЭВП 163
4.7. Проблема течеискания отпаянных ЭВП 168
4.8. Расчет требуемой чувствительности течеискателя 169
4.9. Методы поиска течей отпаянного ЭВП
4.10. Классификация течей 178
4.11. Условия герметизации течей 181
4.12. Исследование вакуумных характеристик ЭВП после процесса герметизации течей 185
4.13. Полумагнетронный МЭН 187
4.14. Выводы 189
Заключение 191
Литература
