Исследование и модификация наноструктур с использованием токовых режимов зондовой микроскопии и литографии
Сагунова, Ирина Владимировна. Исследование и модификация наноструктур с использованием токовых режимов зондовой микроскопии и литографии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Сагунова Ирина Владимировна; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2010.- 139 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/521
