Введение
Глава 1. Обзор литературы 9
1.1. Лазерные интерферометры 10
1.2. Тенденции развития технологии интегральных микросхем 18
1.3. Промышленные модели лазеров, используемых в интерферометрах перемещений 21
1.4. Методы получения разностной частоты 26
1.4.1. Формирование разностной частоты в поперечном магнитном поле 29
1.4.2. Формирование разностной частоты в продольном магнитном поле 38
1.5. Методы стабилизации оптической частоты в двухчастотных стабилизированных лазерах 40
1.6. Постановка задачи 45
Глава 2. Анализ зависимости разностной частоты и мощности излучения от конструктивных элементов лазера 48
2.1. Расчет разностной частоты в зависимости от продольного магнитного поля 48
2.2. Экспериментальные исследования разностной частоты 53
2.2.1. Описание экспериментальной установки 53
2.2.2. Влияние магнитного поля на величину разностной частоты для активных элементов различной длины 53
2.2.3. Изменение мощности излучения в зависимости от длины резонатора и величины приложенного магнитного поля 57
2.2.4. Анализ экспериментальных и расчетных характеристик 58
2.3. Фазовая анизотропия 61
2.4. Основные результаты и выводы по главе 66
Глава 3. Особенности конструктивного выполнения лазеров с повышенной разностной частотой 68
3.1. Активный элемент лазера с повышенной разностной частотой и его характеристики 68
3.1.1. Резонатор активного элемента и характеристики пучка 69
3.1.2. Конструкция активного элемента 75
3.1.3. Влияние наполнения в активных элементах на стабильность поляризационно-частотных характеристик 77
3.2. Конструктивные элементы, обеспечивающие повышенную разностную частоту 87
3.3. Лазер с повышенной разностной частотой 91
3.3.1. Излучатель лазера 91
3.3.2. Определение времени прогрева, необходимого для обеспечения работоспособности лазера 93
3.3.3. Исследование спектрально-дискриминационных характеристик 96
3.3.4. Схемы и принцип работы лазера 100
3.3.5. Конструктивное исполнение 104
3.4. Основные результаты и выводы по главе 106
Глава 4. Исследование лазера с повышенной разностной частотой 107
4.1. Исследование относительной нестабильности оптической частоты и длины волны лазерного излучения 107
4.1.1. Методика эксперимента 108
4.1.2. Результаты эксперимента 110
4.2. Определение номинального значения и исследование нестабильности разности частот ортогональных компонент лазерного излучения 114
4.3. Исследование относительной нестабильности мощности лазерного излучения 116
4.4. Исследование характеристик опорного сигнала 117
4.5. Основные результаты и выводы по главе 119
Заключение 120
Библиографический список 122
Приложение
