Введение
Глава 1. Анализ чувствительности тензорезисторных преобразователей давления мембранного типа .24
1.1. Взаимосвязь изменения сопротивления тензорезисторов и деформаций 24
1.2. Аналитический расчет деформаций в УЭ мембранного типа 26
1.3. Численный расчет деформаций в УЭ мембранного типа 32
1.3.1. Задание области моделирования и описание свойств материалов .33
1.3.2. Разбиение области моделирования на конечные элементы .43
1.3.3. Алгебраизация дифференциального уравнения 44
1.3.4. Вывод результатов расчета, визуализация данных .49
Выводы к главе 1 52
Глава 2. Экспериментальное исследование распределения изменения сопротивления тензорезисторов по поверхности ПЧЭ для ТП с круглыми мембранами .53
2.1. Методика эксперимента 53
2.2. Распределение изменения сопротивления ТР 56
2.2.1. Одномембранные преобразователи .56
2.2.2. Двухмембранные преобразователи 62
2.3. Сравнение экспериментально полученных профилей деформаций с расчетными данными 67
Выводы к главе 2 70
Глава 3. Температурные характеристики мембранных ТП давления с ПЧЭ на основе КНС 72
3.1. Распределение ТКС тензорезисторов 72
3.1.1. Распределение ТКС в одномембранных ТП 75
3.1.2. Распределение ТКС в двухмембранных ТП .81 Выводы к главе 3 82
Глава 4. Оптимизация характеристик ТП давления на основе КНС 84
4.1. Оптимизация размеров одномембранных ТП для уменьшения
нелинейности и вариации выходного сигнала 84
4.2. Оптимизация топологии ПЧЭ для уменьшения температурного дрейфа нулевого сигнала ТП . 88
4.3. Разработка ПЧЭ с топологией из сонаправленных ТР .90
Выводы к главе 4 98
Заключение 100
Список использованной литературы 102
