Введение
ГЛАВА 1. Методы испытаний ис на стойкость к воздействию ояч. испытания на лазерных установках и на ускорителях ояч 11
1.1. Испытания на лазерных установках и ускорителях ОЯЧ как альтернатива друг другу 12
1.2. Совместное использование испытаний на ускорителе и методики сфокусированного лазерного воздействия 17
1.3. Методика локального лазерного воздействия 21
Выводы. 39
ГЛАВА 2. Развитие методов лазерных испытаний 40
2.1. Неравномерность распределения коэффициента оптических потерь лазерного излучения по площади кристалла ИС 41
2.2. Выбор оптимальных параметров лазерного излучения. 52
2.3. Корректировка сечения одиночных эффектов. 59
2.4. Воздействие лазерного излучения со стороны подложки ИС. 63
2.5. Измерение диаметра лазерного пятна. Нож Фуко 69
Выводы. 72
ГЛАВА 3. Аппаратно-программные средства проведения лазерных испытаний 73
3.1. Общая структура приложения для управления процессом лазерных испытаний 74
3.2. Алгоритмы работы отдельных модулей приложения автоматизации лазерных испытаний 84
Выводы. 94
ГЛАВА 4. Экспериментальная апробация методов и средств лазерных испытаний ис на стойкость к воздействию ояч 96
4.1. Верификация методики локального лазерного воздействия на тестовых структурах с микронными проектными нормами 97
4.2. Апробация методики локального лазерного воздействия при воздействии лазерного излучения со стороны подложки 102
4.3. Учет неоднородности распределения коэффициента потерь лазерного излучения по площади кристалла ИС при совместном использовании источников импульсного лазерного и гамма-излучения 104
4.4. Апробация метода измерения формы лазерного пятна 108
4.5. Статистика результатов лазерных испытаний 109
Выводы. 116
Заключение 117
