Введение
Глава 1. Холодные катоды гелий-неоновых лазеров и требования к их характеристикам 10
1.1. Физические процессы, протекающие на поверхности холодного катода в условиях воздействия тлеющего разряда 10
1.2. Конструкции катодов и материалы, используемые для их изготовления 15
1.3. Способы нанесения тонких металлических пленок 22
Выводы к главе 1 27
Глава 2. Методы исследования основных характеристик холодных катодов 28
2.1. Метод исследования процесса очистки подложек холодных катодов 28
2.2. Метод исследования процесса создания эмиссионного оксидного слоя катодов в тлеющем разряде в кислороде 31
2.3. Метод исследования эмиссионных свойств холодных катодов 33
Выводы к главе 2 36
Глава 3. Исследование физических процессов, сопровождающих этапы изготовления и работы пленочных холодных катодов 37
3.1. Исследование условий эксплуатации катода в моноблочном лазере и прогнозирования его ресурса 37
3.2. Расчет температурных режимов системы катод-корпус лазера 44
3.3. Исследование процесса очистки подложки катода 58
3.4. Исследование процесса окисления холодных катодов в тлеющем разряде в кислороде 61
Выводы к главе 3 з
Глава 4. Разработка способов изготовления пленочного холодного катода с повышенной долговечностью и прогнозирования егоресурса 65
4.1. Разработка способа создания микрорельефной поверхности пленочного холодного катода 65
4.2. Проведение испытаний холодных катодов на долговечность 78
Выводы к главе 4 83
Общие выводы по диссертации 84
Заключение 86
Литератураq
