Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы
Голишников Александр Анатольевич. Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Москва, 2002.- 167 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/2667-4