Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы

Голишников Александр Анатольевич. Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Москва, 2002.- 167 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/2667-4
Автор
Голишников Александр Анатольевич
Год
2002
  • 99 000 UZS

Рекомендуем вам товары

99 000 UZS
Автор
Семейкин Игорь Валентинович
Количество страниц
Год
2006
99 000 UZS
Автор
Григорьев Роман Григорьевич
Количество страниц
Год
2005
99 000 UZS
Автор
Смирнов Дмитрий Юрьевич
Количество страниц
Год
2006
Модули для Opencart 2, Опенкарт 3