Введение
Глава 1. Собственные шумы полупроводниковых изделий 11
1.1. Виды шумов 12
1.2. Физические модели возникновения низкочастотных шумов 17
1.3. Шумы полупроводниковых изделий 28
1.3.1. Шумы интегральных резисторов 28
1.3.2. Шумы интегральных диодов 30
1.3.3. Шумы биполярных транзисторов 34
1.3.4. Шумы МДП транзисторов 37
1.3.5. Влияние конструктивно-технологических факторов на уровень НЧ шума 40
1.3.6. Влияние внешних дестабилизирующих факторов на значение НЧ шума ИС 46
1.4. Возможности НЧ шума как прогнозирующего параметра надежности полупроводниковых изделий 52
Выводы к главе 1 57
Глава 2. Методы измерения параметров низкочастотного шума полупроводниковых изделий и их реализация 58
2.1. Установка для измерения низкочастотного шума 59
2.2. Устройство для измерения коэффициента у 63
2.3. Устройство для разбраковки полупроводниковых изделий по ампер- шумовым характеристикам 65
2.4. Установка для имитации воздействия электростатических разрядов 68
Выводы к главе 2 72
Глава 3. Способы определения потенциально ненадежных интегральных схем по параметрам низкочастотного шума 73
3.1. Разделение аналоговых ИС по надежности с использованием НЧ шума 74
3.2 Разделение цифровых ИС по надежности с использованием НЧ шума 81
3.3. Разделение ИС по надежности с использованием НЧ шума и термоциклирования 92
3.4. Использование коэффициента а для диагностики ППИ 96
Выводы к главе 3 99
Глава 4. Диагностический контроль надежности интегральных схем с использованием шумов и воздействия электростатических разрядов 100
4.1. Разделение аналоговых ИС по надежности с использованием НЧшума и ЭСР 103
4.2. Разделение цифровых ИС по надежности с использованием НЧшума и ЭСР 107
Выводы к главе 4 111
Основные выводы и результаты 112
Список литературы 114
