Теплофизические свойства микросистем на основе структур "карбид кремния на изоляторе"
Никитин Илья Владимирович. Теплофизические свойства микросистем на основе структур "карбид кремния на изоляторе" : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Санкт-Петербург, 2002.- 176 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/1729-2