Введение
Глава 1. Обзор литературы 14
1.1.Введение 14
1.2. Эллипсометрический метод исследования 15
1.2.1 .Основное уравнение эллипсометрии 18
1.2.2. Прямая и обратная задачи эллипсометрии 22
1.3. Показатель преломления и толщина пленок Ленгмюра-Блоджетт 25
1.3.1. Определение комплексного показателя преломления диэлектрических и полупроводниковых подложек 26
1.3.2. Результаты расчета показателя преломления и толщины наноразмерных пленок в предположении модели изотропной однослойной непоглощающей на длине волны измерения пленки 27
1.3.3. Определение комплексного показателя преломления пленок, поглощающих на длине волны измерения 35
1.3.4. Учет анизотропии при определении показателя преломления и толщины наноразмерных пленок 38
1.3.5. Особенности исследования многослойных пленочных структур 43
1.3.6. Возможности исследования физико-химических процессов, происходящих в наноразмерных пленках под действием внешних воздействий 46
1.3.6.1. Фотополимеризация. УФ-фотолиз. 48
1.3.6.2. Исследование межмолекулярных взаимодействий на основе показателя преломления монослоев 55
1.3.6.3. Исследование связи эллипсометрических параметров с характеристиками поверхностного барьера полупроводника в области субмонослоиных покрытий 56
1.4. Выводы 57
Глава 2. Учет влияния переходного слоя на поверхности подложки на результаты эллипсометрических исследований 58
2.1. Введение 58
2.2. Описание модели и методики расчета 59
2.2.1. Расчет показателей преломления и поглощения подложки 61
2.2.2. Матричный метод исследования многослойных разнородных пленочных систем 63
2.2.3. Определение толщины и показателя преломления однослойных прозрачных непоглощающих покрытий методом Холмса 66
2.3. Результаты моделирования 69
2.4. Эксперимент и его результаты 75
2.5. Выводы 77
Глава 3. Влияние количества углеводородных радикалов в молекуле и поверхностного давления на показатель преломления и толщину пленок ленгмюра-блоджетт на основе р-циклодекстринов 80
3.1. Мономолекулярные слои и пленки Ленгмюра-Блоджетт на основе р-циклодекстринов с различным числом алкильных цепей 80
3.1.1. Введение 80
3.1.2. Описание проведенного эксперимента 81
3.1.2.1. Номограммы. Номограмма Арчера 84
3.1.3. Результаты и обсуждение 86
3.1.3.1. Ленгмюровские монослои 86
3.1.3.2. Пленки Ленгмюра-Блоджетт р-ЦД 92
3.2. Исследование неоднородности показателя преломления и толщины по поверхности наноразмерных органических слоев - пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе (З-циклодекстрина 95
3.2.1. Введение 95
3.2.2. Основные данные об экспериментальных установках 91
3.2.3. Данные об объектах исследования. 97
3.2.4. Методики получения исследуемых образцов 98
3.2.5. Обсуждение полученных результатов 99
3.3. Выводы 99
Глава 4. Исследование зависимости показателя преломления и толщины на монослой пленок ленгмюра-блоджетт на основе соли полиамидокислоты в зависимости от числа монослоев, адсорбции красителя и термической имидизации 104
4.1. Зависимость показателя преломления пленки Ленгмюра-Блоджетт от количества монослоев 104
4.1.1. Введение 104
4.1.2. Описание проведенного эксперимента 104
4.1.3. Обсуждение результатов 108
4.2. Показатель преломления и толщина наноразмерных органических пленок соли полиамидокислоты при адсорбции красителя 111
4.2.1. Введение 111
4.2.2. Получение исследуемых образцов и методы исследования 112
4.2.3. Описание проведенного эксперимента. 114
4.2.3.1. Определение характеристик поглощающих пленок методом Малина-Вед емана 115
4.2,4. Полученные результаты и их обсуждение. 116
4.3. Влияния термической имидизации на оптические параметры органических слоев на основе соли пол нами доки слоты 121
4.3.1. Введение
4.3.2. Описание эксперимента
4.3.3. Обсуждение результатов 125
4.4. Выводы 125
Заключение 128
Список использованных источников 13 о
Приложения: 142
