Исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов межоперационных транспортных систем микроэлектроники
Аккулов Руслан Иршатович. Исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов межоперационных транспортных систем микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Аккулов Руслан Иршатович; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2007.- 219 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/4165
