Пленочные структуры оксидов переходных металлов: технология, контроль, оборудование
Шаповалов Виктор Иванович. Пленочные структуры оксидов переходных металлов: технология, контроль, оборудование : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06 / Шаповалов Виктор Иванович; [Место защиты: ГОУВПО "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ""].- Санкт-Петербург, 2008.- 211 с.: ил.
