Введение
Глава 1. Литературный обзор 7
1.1 Виды зондовой микроскопии 7
1.2 Пленочные кантилеверы 27
1.3 Кремниевый кантилевер 28
1.4 Кантилеверы с вискерами 30
1.5 Краткие выводы к главе № 1 32
Глава 2. Формирование консоли кантилевера и аппаратура для исследования основных его параметров 33
2.1 Диффузия как основной метод формирования консоли кантилевера 33
2.1.1 Условия возникновения диффузии 33
2.1.2 Процесс диффузии и определяющие его факторы 34
2.1.3 Функция распределения концентрации примеси по глубине 34
2.1.4 Диффузия из постоянного внешнего источника (одностадийный процесс) 36
2.1.5 Диффузия из конечного поверхностного источника (вторая стадия двухстадийного процесса) 38
2.1.6 Рабочая камера диффузионной установки 40
2.1.7 Способы контроля диффузионного процесса 43
2.2 Растровая электронная микроскопия как основной метод контроля качества кантилеверов 44
2.2.1 Электронные пушки 45
2.2.1.1 Вольфрамовый термокатод 45
2.2.1.2 Стержневой катод из гексаборида лантана (LaBg) 51
2.3.1 Электронные линзы з
2.3.1.1 Общие свойства магнитных линз 55
2.3.1.2 Формирование пятна минимального размера
2.4.1 Аберрация в электронно - оптической мишени 61
2.4.2 Устройство объективной линзы 65
2.4.3 Глубина фокуса 67
2.5 Краткие выводы к главе № 2 69
Глава 3. Исследование процессов изготовления кантилевера с улучшенными параметрами 70
3.1 Исследование процесса формирования иглы кантилевера с улучшенными характеристиками 70
3.2 Разработка технологии изготовления кантилевера с использованием электрохимического травления 81
3.3 Краткие выводы к главе № 3 95
Глава 4. Разработка технологии изготовления управляемого кантилевера и методики расчетов сферического изгиба консоли кантилевера в зависимости от температуры 96
4.1 Разработка методики расчета деформации консоли кантилевера методом резистивного токового разогрева 96
4.2 Технологический маршрут изготовления многобалочного управляемого кантилевера 106
4.3 Краткие выводы к главе № 4 117
Заключение 119
Список использованных источников
