Введение
Глава 1 .Аналитический обзор литературы 10
1.1..Значение измерений свойств и параметров газовых сред 10
1.2. Материалы, конструкции и математические модели терморезисторов 14
1.2.1.Свободная и остеклованная проволока 14
1.2.2.Тонкопленочная и мембранная конструкция
1.2.3.Кремниевая нанообъемная конструкция 21
1.3.Приборное применение терморезисторов 26
1.3.1.Термометры сопротивления 26
1.3.2.Термоанемометры 27
Выводы по главе 1 41
Глава 2. Физико - математическая модель нанообъемного нагревателя 42
2.1. Дифференциальное уравнение теплопроводности в сферических координатах 42
2.2. Одномерная и двумерная задачи теплопроводности 49
Выводы по главе 2 53
Глава 3. Нанообъемный терморезистор, как инструмент исследования свойств газов 54
3.1.Преимущества монокристаллического кремния в качестве материала чувствительного элемента 54
3.2. Моделирование геометрической формы 56
3.3. Технология изготовления нанообъемных терморезисторов 60
Выводы по главе 3 73
Глава 4. Исследование свойств газов в микросистемах 74
4.1.Температурная зависимость теплопроводности 74
4.2. Влияние давления и состава газа 77
4.3.Конвективная устойчивость 78
4.4.Термофорез в плотном газе 80
4.5.Тепловая детурбулизация потока 82
Выводы по главе 4 85
Глава 5. Разработка приборов, метрологические характеристики, натурные испытания и внедрение 86
5.1.1 .Термоанемометр для малых расходов газов 89
5.1.2.Автомобильный датчик массового расхода воздуха 92
5.1.3.Измерительная часть системы обнаружения мест утечки осушенного воздуха в магистральных телефонных кабелях 93
5.2.Датчики по теплопроводности для хроматографов ...97
5.3.Термокондукционный миниатюрный газоанализатор 100
Выводы по главе 5 101
Общие выводы по работе 101
Заключение 103
Список литературы 104
Приложения
