Введение
Глава 1 Изготовление и свойства протонообменных световодов 14
1.1. Базовые материалы интегральной оптики 14
1.2. Оптические свойства сегнетоэлектрических кристаллов LiNb03 15
1.3. Электрооптические свойства 20
1.4. Фоторефрактивный эффект 23
1.5. Основные физические свойства сегнетоэлектрических кристаллов LiNb03 24
1.5.1. Рост монокристаллов LiNb03 25
1.5.2. Дефектная структура ЫЫЬОз 26
1.5.3. Сегнетоэлектрические свойства 27
1.5.4. Кристаллическая структура 32
1.6. Методы формирования волноводов в кристаллах ниобата лития 35
1.6.1. Аутдиффузные волноводы 36
1.6.2. Титан-диффузионные волноводы 36
Выводы к главе 1 40
Глава 2 Методы формирования и исследования параметров и свойств протонообменных световодных структур 41
2.1.1. Протонообменные световоды в кристаллах ниобата лития 41
2.2. Методы исследования параметров и свойств протонообменных волноводов в кристаллах ниобата лития 45
2.2.1. Волноводно-оптический метод (метод модовой спектроскопии) 45
2.2.1.1. Восстановление профилей показателя преломления в волноводных поверхностных слоях
2.2.1.1.1. Кусочно-линейная аппроксимация профиля показателя преломления 48
2.2.1.1.2. Аппроксимация обобщенной функции Гаусса 50
2.2.2. Метод измерения спектров ИК-поглощения, УФ и видимого диапазона 51
2.2.3. Двукристальная рентгеновская дифрактометрия 52
2.2.4. Методы измерения основных параметров интегрально-оптического фазового модулятора, изготовленного по технологии протонного обмена. 53
Выводы к главе 2 57
Глава 3. Влияние покрытия диоксида кремния на свойства отожженных протонообменных световодов .
3.1. Фазовые процессы в протонообменном слое 59
3.2. Подготовка образцов и их характеристики 61
3.3. Экспериментальные результаты 62
3.4. Механизм процесса 69
Выводы к главе 3 72
Глава 4. Разработка технологии изготовления электрооптических модуляторов на кристаллах ниобата лития методом протонного обмена 73
4.1. Технологический маршрут изготовления интегрально-оптических модуляторов 73
4.1.1 Входной контроль исходных пластин ниобата лития 73
4.1.2. Шлифовка 74
4.1.3. Химическая обработка после шлифовки 76
4.1.4. Полировка пластин 77
4.1.5. Разработка топологии интегрально-оптических фазовых модуляторов
и многофункциональных интегрально-оптических элементов 79
4.1.6. Нанесение топологии ИОФМ 84
4.1.6.1. Нанесение электродов 86
4.1.7. Полировка торцев модуляторов 88
4.2. Изготовление волоконно-оптических соединителей 90
4.2.1. Изготовление заготовки 90
4.2.2. Ориентация и вклейка волокна 92
4.2.3. Полировка волоконно-оптических соединителей 93
4.3. Стыковка 96
4.3.1. Выбор оборудования и организация рабочего места 96 4
4.4. Технология изготовления волноводов 98
4.5. Температурные испытания электрооптических модуляторов. Полученные результаты. 111
Выводы к главе 4. 114
Глава 5 Применение электрооптических модуляторов 115
5.1. Одноосные волоконно-оптические гироскопы 119
5.1,1 Конфигурация 119
5.1.2. Оптический блок одноосных ВОГ 120
5.1.3. Параметры одноосных ВОГ 122
5.2. Трехосный ВОГ с последовательной работой каналов 124
5.2.1. Конфигурация 124
5.2.2. Трехосный ВОГ с последовательной работой каналов 128
5.3. Разработка интегрально-оптических элементов на основе ОПО
волноводов в кристаллах ниобата лития 131
5.3.1. Электрооптический переключатель 131
5.3.2. Электрооптический модулятор Маха-Цандера 132
Выводы к главе 5 134
Литература
