Разработка конструктивно-технологических методов производства кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью к перегрузкам
Ушков Александр Викторович. Разработка конструктивно-технологических методов производства кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью к перегрузкам : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Ушков Александр Викторович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана].- Москва, 2008.- 161 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-5/417
